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第3686章 斯维拉克（第1页）

“目前拥有130nm制程的企业，只有我们ASmL和Nikon，canon三家，现在准备突破这个阙值的企业，也同样只有我们三家。Nikon和canon在两年前就开始研发ArF光刻机，在氮气介质下，193nm最低可以做到65nm制程。这个选择当然是最稳妥的一条路，就像从G线的436nm到i线的365nm，再到KrF的248nm，以及现在他们正在做的推进到193nm，165nm，157nm。”

斯维拉克不断来回更换着手里面的幻灯片，嘴上不带丝毫的停顿：“问题是，现在越往下推，技术上的困难都是呈现几何级数的增长，而且不稳定性也成倍的激增，也许他们可以做到65nm制程，可这条路，基本上到了65nm这个极限，就宣告走到了一个封闭的胡同。”

“而采用流体介质，目前最好的选择是纯净水，在193nm波长下，经过1.44的水介质折射，等效于134nm光源，这就等于ASmL跳过了193nm，165nm，157nm这三个节点，跨越了干式步进式光刻机三个代层，遥遥领先的把Nikon和canon远远甩在身后！”

斯维拉克慷慨激昂的讲了大约半个小时，然后躬身结束，赵长安首先鼓掌，苏博等人也热烈的鼓掌跟进。

放映厅的大灯亮了起来，斯维拉克关了放映机，下面就是一纳米北美的提问环节。

赵长安对这些并不是太懂，不过好在苏博是个专家。

其实赵长安根本就无所谓懂不懂，作为一条曾经跃出水面的鱼，他已经知道了如果分支线没有大的改动下的ASmL的未来，所以即使他还懂一点，就算什么都不懂，也不妨碍他对投资ASmL的信心。

只不过总得像模做样的做个戏给大家看看，让他们觉得自己这边也是经过了艰难的思考和决定，最终选择豪赌一把大的。

“光刻机所牵扯的领域很多，其中光源，光学，工作平台是最基础的三大系统，掩膜版，光刻胶，辅助测量聚焦环境传输系统，——”

苏博说了一堆在马丁和斯维拉克听着是废话的话，其实他是在和赵长安王渝讲解，然后说道：“对于氟化氩气体193nm激光源通过折射得到等效于134nm光源，我没有什么异议，然而在液体环境里和气体介质中，流体阻力相差12倍，而且对于不同环境下的光刻胶和掩膜版曝光的技术要求，也会有着很大的区别。”

“这个确实是一些难题，不过就像Nikon和canon的研发一样，在193nm层面这些问题他们也许可以解决，然而到了157nm，很多同样不比134nm水介质条件下光刻胶和掩膜版的曝光技术问题更容易的问题，也同样会出现摆在他们面前。”

马丁知道眼前这个三十多岁的中国人提出的问题，是至少现在134nm所面临的几个非常棘手，也必须得攻克的难题，虽然他有信心相信一定能够找到一种合适的解决方案，然而这个合适的解决方案具体是什么，他现在当然也是根本就不知道。

不过这也是他们ASmL现在得不到英特尔这些企业豪爽投资的重要原因，要是他知道了解决方案，哪里还需要这么热情和费劲的接待这个投资团队。

苏博点点头，知道马丁说的这些话等于啥都没有说。

然而这也是无所谓的事情，现在老板是不管ASmL能不能研发出来浸没式步进机，他都是铁了心的要投资砸钱，而他也觉得就算ASmL最终研发浸没式步进机失败，这笔投资也是值得的事情。

只不过要用这些话表示一纳米北美团队并不是真的什么都不懂，而是相信他们ASmL的技术能力，愿意和他们一起豪赌。

同时也是让ASmL这边明白，一纳米北美团队也不是傻子，不要想着随随便便的画一张大饼，就敢漫天要价的乱要钱。

价格可以相对高一点，但是总不能太过分。